真空泵根據(jù)其工作原理進(jìn)行分類，并對典型真空泵的工作原理進(jìn)行說明。

1、油旋片真空泵

油回轉(zhuǎn)真空泵是利用旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將吸入的空氣推出的真空泵，是利用油來提高氣密性的濕式泵的總稱。也稱為旋轉(zhuǎn)真空泵。

具體類型有旋片式油回轉(zhuǎn)真空泵、凸輪式油回轉(zhuǎn)真空泵、搖擺活塞式油回轉(zhuǎn)真空泵。與轉(zhuǎn)子、凸輪和活塞連接的擺動部分以及與空氣接觸的部分的形狀各不相同，但在所有類型中，隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，通過排出空氣來產(chǎn)生真空。

只要使用油，油的蒸氣壓就是真空的極限，但油的作用可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的性能，并且可以用小型裝置輕松實(shí)現(xiàn)中等真空。

2、油擴(kuò)散真空泵

油擴(kuò)散真空泵由鍋爐、噴嘴和冷凝器組成。在鍋爐中加熱并轉(zhuǎn)化為蒸汽的油通過噴嘴以超音速噴射，將泵內(nèi)的空氣分子推出到排氣口。蒸出的油在冷凝器中作為液態(tài)油重新使用。

3、旋片式干式真空泵

旋片式干式真空泵是一種不使用油，利用旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和葉片抽出從進(jìn)氣口吸入的空氣的真空泵。由于無法防止空氣回流，低真空條件是限制，但可以實(shí)現(xiàn)高抽速。

4、搖擺活塞式干式真空泵

擺動活塞式干式真空泵是利用與偏心轉(zhuǎn)軸相連的活塞來推出和排出空氣的真空泵。由于其結(jié)構(gòu)，它不能防止空氣回流，因此低真空條件是其限制，但維護(hù)很容易。

5.隔膜式干真空泵

隔膜泵是通過橡膠、樹脂或金屬等材料制成的隔膜的往復(fù)運(yùn)動與止回閥相結(jié)合來輸送流體的泵。使用真空泵時，由于有止回閥，無需使用油來密封，可作為干泵使用。隨著往復(fù)運(yùn)動，從想要形成真空的一側(cè)反復(fù)吸入空氣并將其排出到大氣側(cè)，從而形成真空。

6、渦旋式干式真空泵

渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉(zhuǎn)子的聯(lián)合運(yùn)動來排氣的干式真空泵。旋轉(zhuǎn)運(yùn)動將空氣吸入中心并從中心排出。

7. 渦輪分子泵

渦輪分子泵是渦輪形式的干式真空泵。排氣是通過使渦輪葉片高速旋轉(zhuǎn)以接近分子的熱運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)渦輪葉片的傾斜度在分子運(yùn)動中產(chǎn)生偏差。為了使渦輪葉片高速旋轉(zhuǎn)，必須在一定的真空度下使用，并與其他真空泵組合使用。